近年來(lái)合作關系,無(wú)塵車間為了保證一定的環(huán)境濕度行業分類,在規(guī)定范圍中保持處理空氣過(guò)程解決,使我們必需承擔(dān)資金和運(yùn)營(yíng)成本性能。但是為什么值得花費(fèi)這么多錢用在無(wú)塵車間、潔凈室中控制相對(duì)濕度呢不斷豐富?道理很簡(jiǎn)單方案!因?yàn)橄鄬?duì)濕度有一系列可能使?jié)崈羰铱傮w表現(xiàn)下降的因素,其中包括:
1、細(xì)菌生長(zhǎng)實施體系;細(xì)菌和其他生物污染(霉菌臺上與臺下,病毒,真菌技術創新,螨蟲(chóng))在相對(duì)濕度過(guò)60%的環(huán)境中可以活躍地繁殖效高性。一些菌群在相對(duì)濕度過(guò)30%時(shí)就可以增長(zhǎng)。在相對(duì)濕度處于40%至60%的范圍之間時(shí)技術發展,可以使細(xì)菌的影響以及呼吸道感染降至zui低重要的作用。
2、工作人員感到室溫舒適的范圍自動化;相對(duì)濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類感覺(jué)舒適的適度范圍重要的意義。濕度過(guò)高會(huì)使人覺(jué)得氣悶,而濕度低于30%則會(huì)讓人感覺(jué)干燥規模最大,皮膚破裂關註度,呼吸道不適以及情感上的不快。
3更為一致、出現(xiàn)靜電荷各方面;高濕度實(shí)際上減小了無(wú)塵車間堅定不移、潔凈室表面的靜電荷積累──這是大家希望的結(jié)果落地生根。較低的濕度比較適合電荷的積累并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。當(dāng)相對(duì)濕度過(guò)50%時(shí)技術的開發,靜電荷開(kāi)始迅速消散成效與經驗,但是當(dāng)相對(duì)濕度小于30%時(shí),它們可以在絕緣體或者未接地的表面上持續(xù)存在很長(zhǎng)一段時(shí)間健康發展。相對(duì)濕度在35%到40%之間可以作為一個(gè)令人滿意的折中提供了有力支撐,半導(dǎo)體無(wú)塵車間、潔凈室一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累活動。
4、金屬腐蝕;很多化學(xué)反應(yīng)的速度還不大,包括腐蝕過(guò)程好宣講,將隨著相對(duì)濕度的增高而加快。所有暴露在無(wú)塵車間保障性、潔凈室周圍空氣中的表面都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水不斷進步。當(dāng)這些表面是由可以與水反應(yīng)的薄金屬涂層組成時(shí),高濕度可以使反應(yīng)加速領先水平。幸運(yùn)的是認為,一些金屬,例如鋁,可以與水形成一層保護(hù)型的氧化物良好,并阻止進(jìn)一步的氧化反應(yīng)雙重提升;但另一種情況是,例如氧化銅倍增效應,是不具有保護(hù)能力的設備,因此,在高濕度的環(huán)境中文化價值,銅制表面更容易受到腐蝕促進善治。
5、水汽冷凝單產提升;在相對(duì)濕度較高的環(huán)境中求索,濃縮水形的毛細(xì)管力在顆粒和表面之間形成了連接鍵,可以增加顆粒與硅質(zhì)表面的黏附力多樣性。這種效應(yīng)——凱爾文濃縮——當(dāng)相對(duì)濕度小于50%時(shí)并不重要性能穩定,但當(dāng)相對(duì)濕度在70%左右時(shí),就成為顆粒之間黏附的主要力量規模。
6數字化、光刻的退化;到目前為止作用,在半導(dǎo)體無(wú)塵車間開展攻關合作、潔凈室中zui迫切需要適當(dāng)控制的是光刻膠的敏感性。由于光刻膠對(duì)相對(duì)濕度極為敏感的特性,它對(duì)相對(duì)濕度的控制范圍的要求是zui嚴(yán)格的水準(zhǔn)組建。
干燥的季節(jié),在無(wú)塵車間內(nèi)結構,靜電和粉塵的危害是直接造成無(wú)塵車間工業(yè)產(chǎn)品出現(xiàn)各種不良后果∩钊虢涣餮杏?,F(xiàn)在通過(guò)使用工業(yè)加濕機(jī)將空氣濕度提升,即保證了產(chǎn)品的出廠品質(zhì)效果較好,人們感覺(jué)舒適集聚效應,靜電也消失了、因此廣泛應用,潔凈加濕成為無(wú)塵車間環(huán)境控制的必然要求提升。